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產品簡介
SHG5050型微量水分發生器，本裝置用于產生水氣含量在0~100 ppm范圍連續可調的氣體，以He/Ar/N2等惰性氣體為載氣，流量0~600 sccm； 出廠前輸出濃度經上海計量院標定
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1 總體參數
1.1 水含量 | 0~100 ppm |
1.2 氣體流量 | 0~600 sccm |
1.3 載氣 | 特氣 |
1.4 連續運行時長 | 12 個月 |
1.5管路材質 | SUS316L |
1.6額定功率 | 500W@220VAC 50Hz |
2 工作原理
圖1 微量水分發生器工藝流程圖
（1） 濕路載氣經減壓閥2-1#調節到5bar AG，在飽和器中加濕，得到約2000ppm的飽和含濕氣體；飽和含濕氣體經過減壓閥2-2#調節到2bar AG左右，再經質量流量控制器2#調節流量。
（2） 干路載氣經減壓閥1-1#調節到2bar AG左右，再經質量流量控制器1#調節流量。
（3） 干路和濕路氣體流量比例控制在19：1，再經過混合器后得到濕度約100ppm的目標含濕氣體輸出。
（4） 飽和器通過冷水機控溫，使其溫度在10℃
3 設備接口
桌面式機箱，
載氣入口：1/8’’ 卡套
氣體出口：1/8’’ 卡套
當前位置：
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